洁净室空调的自控系统简介

一．洁净室空调自控的对象 

洁净室自控的对象 

1. 温度  

洁净室的温度控制主要是由工艺而定，根据需要来对温度基数和精度提升要求。一般情况下，温度基数偏低。如电子工厂洁净室温度取，比舒适性空调低很多。因此，夏季的冷负荷也显得较大。另外，工艺设备的发热量也是比较大的，也就是说，温度扰量很大，而且，变化也很大，工艺设备的使用系数是根据产量品种变化而变化，产品是根据市场变化而变化。总结一下，特点：温度基数低，负荷变化大。 

2. 湿度  

洁净室温度控制也是根据工艺要求而定，如电子厂，制药厂相对的湿度基数也是偏低的，约为，但又不能太低，如果太低，容易产生静电。 

3. 正负压值 

洁净室内有工艺设备在生产过程中会有有毒有害的废热砌体产生，需要排出至室外，而为了保证室内的洁净度，一般情况下，要求室内保持正压（也有特殊要求，而保持负压的），根据不同的洁净度，正压值的要求也不同。 

4. 洁净度  

因为生产环境的洁净度和产品的合格率有着密切的关系，因此，对洁净室要求进行全面定期的检测，如发现洁净度不满足工艺的要求，应该及时报警。 

5. 易燃易爆、有毒有害气体的浓度检测  

当易燃易爆、有毒有害气体的浓度达到规定限制的时候，要启动事故排风，并且报警。

二．洁净室空调自控与一般空调自控的不同之处 

1. 一般空调自控的方法在洁净空调自控工程中都能应用，由于对生产环境有洁净度要求的生产工艺一般都对温湿度有高一些的要求。比如：温度基数偏低而有较高精度的要求，这就给温湿度控制带来了一定难度，再加上对湿度控制的基数偏低，较高精度的要求就会难上加难，当然，这对自控技术的要求也就较高了。 

2. 洁净室的洁净度是用一定量的洁净空调置换被污染的空气来达到生产工艺的要求，因此，送风量是一个不变的参数，采用变风量定送风露点的自控方式是不适用的。一般是采用定风量变露点的方式来满足室内的温湿度的要求，这就是与一般空调控制的不同之处。 

3. 若采用干盘管加FFU的空调形式，若室内冷热负荷发生变化，一般是通过调节干盘管的冷热水量来控制室内的温度。而室内的湿度控制一般是调节新风系统的送风状态来满足室内的其要求。 

4. 通过平衡送风量、回风量、排风量和新风量，以此达到满足室内维持正压值的要求。自控要在上述风量发生变化时有手段来达到平衡，并满足室内正压值的要求。

来源：洁净技术与应用；Ths to @百佳机电.

       文章来源：洁净园

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