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氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，因为氦气是惰性气体，对大气无污染、使用安全，氦原子量小、粘度小，易渗透任何可能存在的漏率，具有性能稳定、灵敏度高、适用范围广的特点，是目前真空检漏技术中灵敏度最高，使用最普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏法的原理是利用不同质荷比的离子在磁场中受洛伦兹力不同而做圆周运动半径不同的原理，将不同质荷比的离子分开，在相应半径上收集到示踪气体，如果被检件出现泄漏，则会检测到氦离子，再通过相应计算得出漏率大小。
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