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X射线光电子能谱分析（XPS），也称为化学分析电子能谱（ESCA），是一种表面分析技术。它利用高能量的X射线光子束照射到样品表面，导致样品原子中的电子被激发出来，形成光电子。这些光电子的动能与结合能有关，通过测量这些电子的动能，可以确定样品表面的元素组成和化学状态。在XPS分析中，X射线光子与样品表面的原子相互作用，如果光子能量足够高，可以使内层或价电子脱离原子，这些电子被测得的速度（动能）与它们的结合能有关。结合能是指电子在原子中原本的结合强度，不同的元素和化学状态有不同的结合能。通过测量这些电子的动能，可以推断出样品表面的元素类型和化学环境。XPS广泛应用于多种领域，包括金属、无机材料、催化剂、聚合物、涂层材料和矿石等的研究。它特别适用于研究材料的表面化学性质，如腐蚀、摩擦、润滑、粘接、催化等。
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