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IDS3010激光干涉仪的精度受到德国国家计量院( PTB )的认证。值得指出,在0-3米的工作距离内, IDS3010激光干涉仪 的测量数据与德国计量院激光干涉仪数据完全一致。德国计量院的认证使得IDS3010激光干涉仪的测量数据满足德国国家标准,IDS3010也成为更加理想的位移台鉴定与机器加工等领域的测量工具,充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要,可应用于长度测量、同步辐射、精密仪器、半导体工业以及显微镜。
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