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简介：
主要应用于临床的医疗材质和几何形状都符合要求的器材，只要按照要求进行使用，该灭菌柜就能恒定地达到10-6SAL的灭菌水平。
过氧化氢低温等离子灭菌器既可对金属医疗器械进行低温灭菌，也可对非金属医疗器械进行低温灭菌。通过过氧化氢在舱室内扩散，然后将过氧化氢“激励”成等离子体状态，对医疗器械进行灭菌。过氧化氢蒸汽通过与等离子体结合，可对医用器械和材料安全、迅速灭菌，不留任何毒性残余。灭菌过程的各阶段都是在干燥的低温环境下运行，因此不会损坏对热或水汽敏感的器械，对金属和非金属器械都适用，并能对诸如止血钳铰链等难以到达（不易扩散）的器械部位进行灭菌。
最早引入等离子灭菌技术的是美国强生公司，目前国内的生产厂家如北京凯斯普、成都老肯、山东新华等都是极具知名度的。
过氧化氢等离子体是1990年代开始面世的一项新低温灭菌技术。等离子体被认为是液态、气态、固态之外的第四种状态，是气体分子在极度真空的腔体内受激发而形成的。过氧化氢等离子体灭菌，具有灭菌循环时间短，彻底分解终产物毒性低的优势。然而由于考虑到Mycobacteria tuberculosis污染的问题，美国FDA至今没有批准采用扩散增强器（diffusion enhancer）来解决过氧化氢蒸汽穿透长而窄的管腔物品困难的问题。
相关特性：
优点：
快速杀菌作用
H₂O₂易分解,没有排气时间，物品周转快
最后的分解产物无毒（理论上）
没有安装要求,没有通风管道
缺点：
穿透性差,有器械有严格的管腔长度,管腔大小的限制灭菌机制
为氧化反应,对器械的材质有严格的限制
成本昂贵
灭菌时器械绝对干燥、不能上油
过氧化氢的毒性、以及在等离子过程中产生的紫外线的危害
不能使用等离子灭菌的物品：
任何的带盲端、半盲端管腔的器械Any device with dead endlumens
由纤维材料制造的物品（如棉布，纸，纱布等）Cellulose based materials (i.e. cotton, paper, gauze)
液体Liquids
不能满足官腔长度和细度限制的器械Items that do not meet thelumen/length criteria
由纤维材料制成的器械盒Any organizing trays thatcontain cellulose based materials.
布垫Count sheets (unless Tyvek/plastic)
传统的带粘胶的标签Traditional adhesive labels(i.e. Dust Cover labels)
任何含有金属铜材质管腔或者铜合金材质（如：蒙乃尔铜-镍合金）管腔的器械；
任何没有完全干燥的器材或者器械；
任何的带盲端官腔的器械
任何液体的灭菌；
任何油剂，任何粉剂；
任何液体吸收性材料或者带有液体吸收性材料的器械或者器材；
任何植物性纤维材质制造的器械或者器材，如棉布，布，纸，碳，纤维，纱布，棉球类等任何含有木浆材质（纤维素）的物品；
纸类的器械目录单或者日期标签；
制造商不建议重复灭菌使用的一次性器械，一次性医疗用品；
植入物（除非制造商明确推荐使用Sterrad®灭菌系统）；
任何尼龙材料或者尼龙材料源性材料嵌合表面的物品；
任何不能经受真空过程的器械或者器材，和任何标记只能使用排气式压力蒸汽灭菌器灭菌的物品；
任何可能出现表面塌陷，造成相互间紧贴的器械或者器材，除非有特殊方法避免这种情况发生；
任何有内部构件，如封闭性轴承，的器械或者器材；
任何管腔数据在管腔限制以内的器械或者器材；
物品材质限制
只有物品材质符合等离子灭菌要求才能采用该灭菌方法
只有得到器械生产商的认可该器械可以使用等离子灭菌
成本昂贵
机器成本
和机器相关的保修零配件价格
日常使用成本包括卡匣包装材料监测的费用
专用器械
Tyvek包装袋（价格很贵且供货厂商少）
聚丙烯制造的无纺布
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