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如何利用激光干涉仪调平行度

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  1. 校准测量仪器 在进行测量之前,需要首先对激光干涉仪进行校准。具体校准方法详见使用说明书,这里不再进行赘述。

  2. 调整被测物体 将被测物体调整至垂直于激光干涉仪的光轴方向,并调整物体的位置,使物体表面尽可能平行于分光镜的面。需要注意的是,在调整过程中要避免触碰到被测物体,以免对测量结果产生影响。 点亮激光干涉仪,观察得到的干涉条纹图形。

申明

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