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压电纳米位移台的命名是由三部分组成:“压电”指执行器种类,是以PZT压电陶瓷叠堆作为驱动源;“纳米”指精度等级,移动端面在PZT压电陶瓷的驱动下,可以实现纳米级精度的步进或连续运动;“位移系统”指运动方式,其实现的是X、Y、Z向一维或多维的平移运动。压电纳米位移系统是将PZT压电陶瓷与柔性铰链结构、金属壳体结构相结合,并配备有机械固定安装接口与负载安装接口。压电纳米位移系统可直接带动负载进行微位移调节,其运动面有螺纹孔用于安装固定负载。此外,压电纳米位移系统可集成于各类高精密装备,为其提供纳米级运动控制、光路控制等。
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