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镁伽自主研发的MRD-3B20型全自动粒子压痕检测设备,基于镁伽IntellVega视觉平台,采用模块化设计,可自动检出bump偏移、粒子数量、粒子分布均匀性、腐蚀孔洞、气泡、间隙异物、区域裂纹破片等数十项不良,赋能半导体显示领域智能自动化升级和生产力革新。
· AI辅助判定,大幅提高检测准确率
· 实时聚焦精度2um,克服翘曲
· 0.7μm分辨率的高精度运动控制
· 高达60mm/s扫描速度
#先进制造 #显示面板 #粒子压痕检测设备
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