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扫描电镜方法是利用扫描电镜对样品的结构和性能进行分析的方法。扫描电镜的基本部件有透镜系统、电子枪、电子收集器、观察和记录影像的阴极射线管等。其基本原理是用极细的电子束在样品表面上扫描,然后按电视原理放大成像,显示在电视屏幕上。
当电子轰击样品表面时会产生各种信号,其中包括二次电子、背散射电子和不同能量的光子等。这些信号来自样品的特定发射区域,它随表面形貌的不同而变化。从而可以获得样品的成份、表面形貌、晶体结构等信息。扫描电镜的特点之一是,用它检验大块样品时能获得高的分辨率,商品仪器可达50埃,专用仪器可达25埃。特点之二是,利用扫描电镜的大景深可获得样品的三维形态。这对生物学、医学等特别有价值。
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