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ISC150喷金仪操作

离子溅射仪器是一种用于交通运输工程领域的分析仪器,于2016年06月28日启用。...

 

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离子溅射仪器是一种用于交通运输工程领域的分析仪器,于2016年06月28日启用。

技术指标:
(1)样品室大小:直径120mm×高度120mm; 
(2)靶材:Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶,靶材尺寸:直径57mm×厚度0.1mm; 
(3)样品台:可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm; 
(4)溅射控制:程序化数字控制,最大电流40mA; 
(5)溅射头:低电压平面磁控管;
(6)厚度监控:MTM-20高分辨厚度控制仪,可自动终止溅射过程。

主要功能:
扫描电镜样品制备。

申明

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