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电子束是通过加速电子并聚焦成束来对物体进行加工、刻画、成像等等研究的技术。其原理是利用电子的高速运动和特定场电磁场的协同作用，达到聚焦和定向束流的目的。具体来说，电子束的产生和聚焦需要利用一系列专门的设备。首先，需要一个电子枪来产生电子，电子枪一般由高真空容器、电极、灯丝等部分组成。当灯丝加热时，发射器表面的物质被电子击中，从而产生电子。电子会在高压的作用下被加速并携带能量，形成电子流，流入磁场区域。
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